光刻材料中阴离子的测定
光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上,为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的 1/3,耗费时间约占整个硅片工艺的 40~60%。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、检测等工序。光刻胶是一种经过严格设计的复杂、精密的配方产品,由树脂、光引发剂、单体、添加剂等不同性质的原料,通过不同的排列组合,经过复杂、精密的加工工艺而制成。目前集成电路的集成水平已由原来的微米级水平进入纳米级水平,为了匹配集成电路的发展水平,制备超净高纯试剂的纯度也由 SEMI G1 逐渐提升到 SEMI G4 级水平,对杂质的检验能力要求也相应提高。
(1)阴离子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流动相:15 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱温:35℃
抑制器:SHY-A-6
进样体积:100 μL
前处理:称取 2 g 样品于 50 mL 样品管中,加入 10 mL 去离子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷却至室温,提取液过 0.22 μm 一次性针头过滤器后进样分析。
色谱测量数据
PC 中阴离子谱图
色谱测量数据
PP 中阴离子谱图
色谱测量数据
ABS 中阴离子谱图
(2)阳离子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流动相:6 mM MSA(EG)
流速:1.0 mL/min
柱温:35℃
抑制器:SHY-A-6
进样体积:100 μL
前处理:称取 2 g 样品于 50 mL 样品管中,加入 10 mL 去离子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷却至室温,提取液过 0.22 μm 一次性针头过滤器后进样分析。
色谱测量数据
PC 中阴离子谱图
色谱测量数据
PP 中阴离子谱图
色谱测量数据
ABS 中阴离子谱图
Related Products
查看详情
查看详情
查看详情
查看详情
related news
10月17日,中国离子色谱行业的先行者,盛瀚工程师、技术研发顾问、“终身员工”张烈生再次回到盛瀚,与研发人员亲切的交流。在了解到我国在离子色谱领域最新的科研成果和取得的亮眼成绩之后,张老颇感欣慰。 回首:张烈生等老
自2019年《粤港澳大湾区发展规划纲要》出台,大湾区经历了五年的快速发展,展现出蓬勃的活力与生机,已经成为商业“沃土” 。 粤港澳大湾区是我国开放程度最高、经济活力最强的区域之一,在国家发展大局中具有重要战略地位。大湾区毗邻港澳地
盛瀚将推出“终身质保”服务 定义行业服务新标杆 盛瀚坚守“客户第一” 做行业引领者 自2002年成立以来,盛瀚始终将“客户第一”放于首位,以高质量精品回馈新老客户。在售后服
离子色谱仪是一种常见的分析仪器,主要用于测定溶液中各种离子的浓度和组成。它在环境监测、食品安全、药物监管等领域中发挥着重要作用,帮助我们准确分析和监测溶液中的离子成分。
12月22日,山东省经济和信息化委员会发布首批山东省制造业单项冠军企业公示名单,青岛盛瀚色谱技术有限公司榜上有名。一同登榜的还有九阳股份、青岛海信、双星集团、海尔股份、鲁花集团等78家山东省知名企业。