光刻材料中阴阳离子的分析
光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的1/3，耗费时间约占整个硅片工艺的40～60%。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、检测等工序。光刻胶是一种经过严格设计的复杂、精密的配方产品，由树脂、光引发剂、单体、添加剂等不同性质的原料，通过不同的排列组合，经过复杂、精密的加工工艺而制成。目前集成电路的集成水平已由原来的微米级水平进入纳米级水平，为了匹配集成电路的发展水平，制备超净高纯试剂的纯度也由SEMI G1逐渐提升到SEMI G4级水平，对杂质的检验能力要求也相应提高。
前处理方法：称取2 g样品于50 mL样品管中，加入10 mL去离子水，于60℃水浴1 h，取出冷却至室温，提取液过0.22 μm一次性针头过滤器后进样分析。
仪器配置：
应用案例：
分析结论：
本方案根据样品性质进行样品测试，使用盛瀚离子色谱CIC-D260，样品经过纯水提取，将光刻材料中目标离子提取到溶液中，采用抑制电导检测，在1.0 mL/min流速下进行洗脱，从测试结果可以看出待测离子峰型良好,目标峰的响应信号明显，目标峰的分离度及检出限均满足标准要求，采用该方案可以对光刻胶中阴阳离子进行准确的定性定量分析。
Related Products
查看详情 
查看详情
查看详情
查看详情
related news
时光如梭 转眼间2023已过半 上半年盛瀚人奋勇拼搏、屡创新高 在蓄力之年夯实基础、筑牢根基 结出累累硕果 2023下半年已到来 我们将坚持以科技创新引领企业发展 连接过去 开启未来
离子色谱仪价格是实验室常用设备之一，在快速和微量分析方面具有较强的有优势，因此广泛应用于环境监测、化学工业、食品卫生等诸多领域。离子色谱仪应用离子交换色谱原理在离子交换柱内快速的分离各个离子，由串联在分离柱后的抑制器利用酸碱中和原理有效地降低强电解质淋洗液的酸或碱度，以扣除其本底电导，再用电导检测器测定流出液的电导值，以便得到被检测离子的色谱峰， 达到分离、定性和定量分析一次完成的目的。
9月7日，盛瀚色谱与北美华人色谱协会联合举办的离子色谱在核电站防腐应用研讨会将正式开启，盛瀚色谱海外业务部产品经理王福生将带来《离子色谱在核电站防腐中的应用》主题分享。
2月23日，青岛盛瀚色谱技术有限公司（简称：盛瀚）与天祥（天津）质量技术服务有限公司青岛分公司（简称：天祥）达成合作共识，共建合作实验室，为国产仪器与第三方检测行业的发展提供新思路。 揭牌仪式上，崂山区市场监督管理
全国免费服务热线:
总部地址:
销售邮箱:
