四甲基氢氧化铵中主成分及阴离子杂质的分析
光刻胶有正性胶和负性胶两大类,正性胶的显影液一般为碱性水溶液,KOH和NaOH因为会带来可动离子污染,所以在集成电路制造中一般不用。最普通的正胶显影液是四甲基氢氧化铵(TMAH)。在I线光刻胶曝光中会生成羧酸,TMAH显影液中的碱与酸中和使曝光的光刻胶溶解于显影液,而未曝光的光刻胶没有影响。
随着半导体行业的快速发展,四甲基氢氧化铵的需求量大大增加。随着芯片线宽不断缩小,对光刻工艺中用到的化学品的纯度要求也越来越高,国际半导体设备和材料组织对电子级四甲基氢氧化铵作出了限量要求。离子色谱法作为最常用的离子分析方法,因其分离效率高、专属性好,可以同时分析多种元素离子,被广泛应用于离子含量的检测。
前处理方法:样品稀释1000倍后过0.22 μm滤膜后上机分析。
仪器配置:
应用案例:
分析结论:
本方案根据样品性质进行样品测试,使用盛瀚离子色谱CIC-D260,样品经过纯水提取,将目标离子提取到溶液中,采用抑制电导检测,在1.0 mL/min流速下进行洗脱,从测试结果可以看出待测离子峰型良好,目标峰的响应信号明显,目标峰的分离度及检出限均满足标准要求,采用该方案可以对四甲基氢氧化铵中主成分及杂质阴离子进行准确的定性定量分析。
Related Products
查看详情
查看详情
查看详情
查看详情
related news
2021年4月14日下午,芜湖市政府副秘书长、扶贫办主任靳大鸣,芜湖市三山区人大主任王晓,安徽水韵环保股份有限公司总经理李爱东,芜湖贝斯特新能源开发有限公司董事长刘永政一行来到青岛盛瀚色谱技术有限公司进行交流考察,公司全体员工对到访嘉宾表示热烈欢迎。
3月12日至13日,西南石油大学化学化工学院院长段明,化学化工学院副书记、纪委书记陈刚,化学化工学院团委副书记、学生工作办公室副主任阚文华一行领导莅临青源峰达集团参观交流。双方深入沟通交流,寻求合作机会。
七月的党旗迎风飘扬,七月的天空流光溢彩。七月初始,捷报传来~~~盛瀚离子色谱产品出口国家又增加了!第48个国家,阿联酋。
6月15日,青岛农业大学分析测试中心主任徐坤、副主任王倩文、高级工程师周远明以及博士陈贵兰一行到访青岛盛瀚色谱技术有限公司,共同探讨校企合作议题。
离子色谱仪具有分析速度快、灵敏度高、选择性好、多组分同时测定和运行费用低等特点。一般来说,国产离子色谱仪在运行中有几个常见故障,因此化学实验人员有必要学习一些国产离子色谱仪的简单维护和操作。 一、由流动相到泵之间