蚀刻液中阴离子的分析
在集成电路制造过程中，常需要在晶圆上定义出极细微尺寸的图案，这些图案主要的形成方式是藉由蚀刻技术，将微影后产生的光阻图案忠实的转印至光阻下的材质上，以形成集成电路的复杂架构。因此蚀刻技术在半导体制造过程中占有极重要的地位。蚀刻技术大略可分为湿式蚀刻和干式蚀刻两种技术。湿式蚀刻是利用特定的化学溶液将待蚀刻薄膜未被光阻覆盖的部分分解，并转成可溶于此溶液的化合物后加以排除，从而达到蚀刻的目的。大部分的蚀刻过程包含一个或多个化学反应，常见的是先将待蚀刻层表面予以氧化，再将此氧化层溶解，如此反复达到蚀刻的效果，因此蚀刻液大多由一种或多种酸溶液混合而成。离子色谱可检测蚀刻液中的酸根离子，亦可检测经蚀刻后的电路板上酸根的残留量。
前处理方法：准确移取样品，稀释适当倍数过Na柱和0.22 μm滤膜，进样分析。
仪器配置：
应用案例：
分析结论：
本方案根据样品性质进行样品测试，使用盛瀚离子色谱CIC-D100，样品纯水稀释后，过Na柱去除干扰，采用抑制电导检测，在1.0 mL/min流速下进行洗脱，从测试结果可以看出待测离子峰型良好,目标峰的响应信号明显，目标峰的分离度及检出限均满足标准要求，采用该方案可以对蚀刻液中杂质阴离子进行准确的定性定量分析。
Related Products
查看详情 
查看详情
查看详情
查看详情
related news
在食品质量安全分析检测中，液相色谱仪、离子色谱等都有普遍地应用。高效液相色谱技术是色谱法的一种，用高效液相色谱法检验粮油食品，低检出限为0.0037～0.0074mg/kg，能够测定粮油食品中多种氨基甲酸酯类农药的含量，同时也可以用
第十七届北京分析测试学术报告会暨展览会（bceia 2017）已圆满闭幕，青岛盛瀚作为bceia盛会的老朋友，携众多款色谱仪亮相现场。期间，盛瀚产品以其丰富的种类，优越的稳定性，亮眼的外观设计，超高的性价比立刻赢得了用户朋友的青睐。
11月2日，慕尼黑上海分析生化展（Analytica China）在上海国际新博览中心圆满落幕，来自26个国家和地区的950家海内外先锋企业及专家学者齐聚一堂，共话分析生化技术领域的发展。
日前，由质检总局组织，青岛检验检疫技术发展中心牵头，青岛盛瀚色谱技术有限公司提供第一技术支撑的国家重大科学仪器设备开发专项“多功能离子色谱仪的开发与产业化”项目，在青岛通过了技术专家组的初步验收。
新年伊始，盛瀚法国和澳大利亚代理商相继来访，并与盛瀚签署战略合作协议。
全国免费服务热线:
总部地址:
销售邮箱:
